飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀的知識要點(diǎn)，一看便知

　?。?）以能量選擇由試品產(chǎn)生的二次離子能量過(guò)濾器；

　?。?）進(jìn)行質(zhì)量選擇的質(zhì)譜儀；

　?。?）放大、檢測經(jīng)質(zhì)量選擇後的二次離子檢測輸出信號。

　　飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀的原理：

　　1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進(jìn)行穩定的轟擊，一次離子可能受到樣品表面的背散射，也有部分進(jìn)入樣品表面，這部分離子把能量傳遞給晶格，當入射能量大于晶格對原子的束縛能是，部分原子脫離晶格向表面運動(dòng)，并且產(chǎn)生原子間的級聯(lián)碰撞，當這一能量傳遞到表面，并且大于表面的束縛能時(shí)，促使表面原子脫離樣品，謂之濺射；

　　2.上述一次離子引發(fā)的濺射大部分為中性原子或分子，也有少量荷電集團，包括帶電離子、分子、原子團，按照荷質(zhì)比經(jīng)過(guò)質(zhì)譜分離；

　　3.收集經(jīng)過(guò)質(zhì)譜分子的二次離子，可以得知樣品表面和體內的元素組成和分布。

　　飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀的應用很廣，偵測表面污染、氧化、還原、吸附、腐蝕、觸媒效應、表面處理等動(dòng)態(tài)分析之表面研究工作，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化學(xué)、物理、冶金及電子方面之發(fā)展，使用者很多。該產(chǎn)品不但可作表面及整體之分析，又可直接作影像觀(guān)察，其靈敏度及解析能力甚高，由較小的氫至原子量很大的元素均可偵測，尤其對于同位素的分析更是有效。