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二次離子質(zhì)譜儀有著(zhù)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩種,本質(zhì)上區別不大,都是可檢測極低濃度的摻雜劑和雜質(zhì)。儀器用高能電離轟擊樣品表面,使樣品表面的原子或原子團吸收能量,并通過(guò)濺射產(chǎn)生二次粒子。這些帶電粒子通過(guò)質(zhì)量分析儀后,可以得到樣品表面的信息光譜。
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