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簡(jiǎn)要描述:HIDEN HMT 100-RC 高壓殘余氣體分析儀-四極質(zhì)譜儀(High Pressure Residual Gas Analyser),*的雙重模式RGA系統,檢測已存在的、或生產(chǎn)過(guò)程中形成的氣體。針對真空診斷以及過(guò)程監測。
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應用領(lǐng)域 | 綜合 |
HMN-RC高壓殘余氣體分析儀應用:
· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實(shí)質(zhì)上的泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過(guò)程氣體污染物
HMN-RC高壓殘余氣體分析儀特點(diǎn):
· HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作(z小壓力4x10-8 Torr)
· 在P < 10-4 Torr時(shí)具有高靈敏度的RGA操作模式,z小壓力1x10-11 Torr
· z大質(zhì)量數100amu,軟件操作。
· 穩定性好(24h之上,高度變化小于±1% )
· MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描-多個(gè)windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數據圖,列表
· 同步背景扣除,自動(dòng)質(zhì)量數列表
· 數據輸出為ASCII格式,至windows設備
· 即時(shí)動(dòng)態(tài)數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如Excel、SPC-IV統計過(guò)程控制軟件。
上一產(chǎn)品:EQS二次離子質(zhì)譜儀
下一產(chǎn)品:HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀
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