HIDEN RGA系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀檢測容器中的存在組分，或進(jìn)行過(guò)程中產(chǎn)生氣體的分析。針對真空診斷的準確分析。

分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過(guò)程監測和殘余氣體的分析。該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(cháng)期使用。